Общее описание
EDS система QUANTAX предназначена для энергодисперсионного микроанализа на сканирующих и просвечивающих электронных микроскопах (SEM и TEM). Система с SDD кремниевым дрейфовым детектором XFlash® без охлаждения жидким азотом адаптирована под все типы SEM и TEM. Современный тип энергодисперсионного SDD детектора 4го поколения и мощный процессор обеспечивают быстрое сканирование за счет высокой скорости счета до 275 000 имп/с.
Высокая разрешающая способность по энергии (до 125 эВ на линии Mn Kα) детектора и полимерное входное окно позволяют проводить рентгенофлуоресцентный анализ от бериллия. Система снабжена программным обеспечением ESPRIT с интуитивным интерфейсом, которая включает количественный анализ, в том числе и бесстандартный, расширенную библиотеку линий для области низких энергий, картирование и т.д.
EDS система QUANTAX 800 включает в себя следующие компоненты:
- Безазотный SDD кремниевый дрейфовый детектор XFlash® со стабильным разрешением в 133 эВ (или 129, 127, 125 эВ) при скорости счета в 100 000имп/с, размер чипа – 10 или 30 мм2
- Блок электроники – гибридный (аналого-цифровой) процессор импульсов
- Плату для управления электронным пучком и передачи данных с электронного микроскопа на компьютер
- Программное обеспечение ESPRIT
- Современный компьютер
Описание программного обеспечения ESPRIT:
Программное обеспечение для количественного анализа
- ESPRIT Quant Автоматический бесстандартный анализ
- ESPRIT EQuant Дополнительные функции обработки спектров для опытных пользователей
- ESPRIT UQuant Редактор для создания собственных методов обработки спектров
- ESPRIT HSQuant Комбинированный стандартный Φ(ρz) анализ / бесстандартный анализ с P/U-ZAF коррекцией
- ESPRIT SpecMatch Программа для поиска и сравнения с подобными спектрами из собственной библиотеки спектров
Программное обеспечение для обработки изображений и автоматизации
- ESPRIT Scan Программа для получения изображения со сканирующего микроскопа с разрешением до 4096*4096 точек
- ESPRIT ColorScan Программа для получения цветного изображения со сканирующего микроскопа
- ESPRIT Vision Программа для цифровой обработки изображения
- ESPRIT Stereo Vision Программа для получения трехмерных изображений
- ESPRIT StageControl Программа для управления моторизированным столиком электронного микроскопа
- ESPRIT JobControl Программирование и проведение автоматических процедур измерений
- Scandium Automatic Particle Analysis Программа для автоматического анализа частиц
Multi-Point, LineScan, картирование
- ESPRIT MultiPoint Автоматический анализ нескольких точек и областей
- ESPRIT Line Быстрый линейный профиль с записью спектров от каждой точки
- ESPRIT QLine Количественный анализ линейного профиля
- ESPRIT Map Высокоскоростное элементное картирование
- ESPRIT QMap Картирование концентраций элементов
- ESPRIT DriftCorr Коррекция смещения электронного пучка
- ESPRIT HyperMap Картирование с записью полного спектра от каждой точки изображения
- ESPRIT AutoPhase Программа автоматического фазового анализа
Администрирование системы и потоков данных
- ESPRIT Project Программа для сохранения всех данных в одном «проекте»
- ESPRIT Report Программа для подготовки отчетов
- ESPRIT User Программа для редактирования профилей нескольких пользователей
- ESPRIT LAN Дополнительная опция для работы программы
- ESPRIT по локальной сети
- ESPRIT SEMLink Программа для обмена данными с электронными микроскопами SEM, TEM, и EPMA
- ESPRIT Support Техническая поддержка пользователя и управление через Интернет
- ESPRIT EMSA Импортирование и экспортирование EMSA спектров
- ESPRIT API Интерфейс для управления программой ESPRIT из других программ
