Система PIPS™ фирмы GATAN модели 691 является прецизионным устройством для пробоподготовки путем ионного травления образцов тонких фольг различных материалов ионным пучком и предназначена для создания в них лунки с целью утонения образца до получения сквозного отверстия для последующего исследования подготовленных образов в просвечивающем электронном микроскопе. Для возможности исследования образца в просвечивающем электронном микроскопе толщина образца не должна превышать 0,01 мкм.
С целью максимальной простоты управления система PIPS отличается полностью ручным управлением, что предельно повышает надежность управления и простоту в обслуживании. В системе PIPS предусмотрены несколько конструктивных функций:
- Высокие скорости ионного травления при скользящих углах падения ионного пучка
- Ионная пушка Пеннинга не имеет расходных деталей
- Запатентованная система шлюза Whisperlok™ для быстрой и простой смены образца в вакуумной камере установки
- Запатентованные держатели образцов для одновременного двухстороннего ионного травления образца
- Система модуляции ионного пучка, позволяющая прозиводить как одностороннее, так и двухстороннее сектороное
ионное травление образца
- Комбинированная крепежная оснастка исключает необходимость в охлаждении образца при ионном травлении
Также в качестве опций в системы предусмотрена цифровая ПЗС-камера для наблюдения процесса травления образца на телемониторе в процессе ионного травления образца
Также имеется дополнительная функция «Химического ионного травления» (CAIBE), существенно улучшающего утонение полупроводниковых материалов.
- Ионные пушки Две ионных пушки Пеннинга с миниатюрными постоянными редкоземельными магнитами
- Угол травления От +10° до -10°, угол наклона каждой ионной пушки может регулироваться независимо
- Энергия ионного пучка От 1.5 кэВ до 6 кэВ
- Диаметр пучка 350 мкм (ширина на полувысоте интенсивности) при 5 кэВ, 800 мкм (ширина на полувысоте интенсивности) при 5 кэВ для пушек с широким ионным пучком
- Плотность ионного тока 10 мA/см2 (пиковое значение)
- Юстировка пучка Прецизионная юстировка пучка с помощью флюоресцентного экрана
- Размер образцов Диаметром 3 мм, либо 2.3 мм
- Крепление образцов Запатентованный держатель DuoPost (в стандартной комплектации), либо графитовый держатель (опция)