РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Устройство для подготовки тонких фольг различных материалов путем ионного травления 691 PIPS

Устройство для подготовки тонких фольг различных материалов путем ионного травления 691 PIPS

Система PIPS™ фирмы GATAN модели 691 является прецизионным устройством для пробоподготовки путем ионного травления образцов тонких фольг различных материалов ионным пучком и предназначена для создания в них лунки с целью утонения образца до получения сквозного отверстия для последующего исследования подготовленных образов в просвечивающем электронном микроскопе. Для возможности исследования образца в просвечивающем электронном микроскопе толщина образца не должна превышать 0,01 мкм.

 

Для достижения максимальной простоты в использовании система PIPS имеет полностью ручное управление, что предельно повышает ее надежность и простоту в обслуживании.

 

В системе PIPS предусмотрено несколько конструктивных функций:

 

  • Высокие скорости ионного травления при скользящих углах падения ионного пучка;

  • Ионная пушка Пеннинга не имеет расходных деталей;

  • Запатентованная система шлюза Whisperlok™ для быстрой и простой смены образца в вакуумной камере установки;

  • Запатентованные держатели образцов для одновременного двухстороннего ионного травления образца;

  • Система модуляции ионного пучка, позволяющая прозиводить как одностороннее, так и двухстороннее секторное ионное травление образца;

  • Комбинированная крепежная оснастка исключает необходимость в охлаждении образца при ионном травлении.

 

Также в качестве опции в системе предусмотрена цифровая ПЗС-камера для наблюдения процесса травления образца на телемониторе в процессе ионного травления образца. Кроме того, имеется дополнительная функция «Химического ионного травления» (CAIBE), существенно улучшающего утонение полупроводниковых материалов.

 

Параметры Значения
Ионные пушки две ионные пушки Пеннинга с миниатюрными постоянными редкоземельными магнитами
Угол травления от +10° до -10°, угол наклона каждой ионной пушки может регулироваться независимо
Энергия ионного пучка от 1,5 кэВ до 6 кэВ
Диаметр пучка 350 мкм (ширина на полувысоте интенсивности) при 5 кэВ, 800 мкм (ширина на полувысоте интенсивности) при 5 кэВ для пушек с широким ионным пучком
Плотность ионного тока 10 мA/см2 (пиковое значение)
Юстировка пучка прецизионная юстировка пучка с помощью флюоресцентного экрана
Размер образцов 3 мм либо 2,3 мм
Крепление образцов запатентованный держатель DuoPost (в стандартной комплектации) либо графитовый держатель (опция)
Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru