Недорогие многоцелевые сканирующие (растровые) микроскопы JSM-6610– удобные, простые в управлении, исключительно надежные приборы с компьютерным контролем и превосходными техническими характеристиками. Каждый из микроскопов серии выпускается в двух модификациях – стандартной (высокий вакуум) и низковакуумной (LV). Последняя сочетает в себе возможности работы как в стандартном, так и в LV режимах. Низковакуумный режим работы позволяет исследовать образцы без напыления токопроводящим слоем, в том числе биологические и полимерные материалы, стекла, нефтематеринские породы и т.д.
Каждый из приборов серии может оснащаться различными аналитическими приставками для определения химического состава (спектрометры с энергетической и волновой дисперсией), катодолюминесценции, кристаллической структуры и др.
В современных моделях предусмотрена возможность установки турбомолекулярного насоса и/или электронной пушки с гексаборид-лантановым катодом по желанию заказчика.
| Тип источника электронов |
вольфрамовая нить, гексаборид-лантановый катод (опция) |
| Низковакуумный режим |
в моделях LV и LA |
| Пространственное разрешение |
3 нм |
| Пространственное разрешение в низковакуумном режиме |
4 нм |
| Энергия электронного луча |
от 300 эВ до 30 кэВ |
| Увеличение |
от 5 до 300 000 крат |
| Ток луча |
от 1 пА до 1 мкА |
| Детекторы |
SE для JSM-6610 и JSM-6610A (BE-опция); SE+BE для JSM-6610LV и JSM-6610LA |
| Аналитические приставки - опции |
система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного микроанализа, система текстурного анализа поликристаллических образцов, спектральный анализ катодолюминесценции, охлаждающие (крио) и нагревающие столики образцов |
| Максимальный размер образца |
200 мм диаметром, 80 мм толщиной |
| Столик образцов |
5 координат, моторизован по всем осям |
| Система вакуумной откачки |
дифузионный насос |
| Система шлюзования |
опция |
Микроскоп JSM-6610 (в отличие от JSM-6510), обладает камерой образцов большего размера и с большим количеством портов для одновременной установки различных аналитических приставок, кроме того, он оснащен моторизованным по 5-ти осям (X, Y, Z, наклон до 90º, вращение) столиком с компьютерным управлением. Порты микроскопа располагаются таким образом, что детектор вторичных электронов, ЭД-спектрометр, волновой спектрометр и система анализа дифракции электронов (EBSD) расположены в одной полусфере. Это дает уникальную возможность наблюдения и исследования образца с использованием одновременно всех детекторов и спектрометров. В микроскопах других моделей данного класса это невозможно.
LV и LA – модели РЭМ с переменным давлением вакуума, для исследований непроводящих образцов без напыления;
A и LA – Модели РЭМ включают полностью интегрированную систему ЭД микроанализа JED-2300 (один компьютер - два монитора). A- стандартная высоковакуумная модель