РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Реактор для осаждения алмазных плёнок 600

Реактор для осаждения алмазных плёнок 600

Основные характеристики

 

Компьютерное управление напылением – постоянная толщина пленки и размер частиц для производства; гибкое управление напылением для применения при разработках и исследованиях.

 

Создание пленок с высокой равномерностью напыления: ±20% общее отклонение для всех процессов (циклов) и инструментов; ±10% на одном инструменте.

Большая полезная площадь напыления – 144 кв. дюймов.

 

Высокая производительность – 70 000 твёрдосплавных режущих пластин в год.

 

Низкая стоимость эксплуатации – потребление электроэнергии не превышает 0,4 кВт/час на куб. мм алмазной пленки.

 

Сбор и анализ данных – управление с помощью системного программируемого контроллера (модуля SPC) и подключение по нескольким сетевым протоколам для удаленного контроля и анализа.

 

Безопасность – отсутствие воздействия ароматических углеводородов на оператора; защита персонала и оборудования благодаря программным и аппаратным блокираторам.

 

Надежность – средняя наработка на отказ более 500 часов.

 

Запатентованная технология работы реактора – защищена патентами 5.833.753 и 5.99.650.

 

Новая модель 600

 

Новая модель реактора представляет собой систему второго поколения от компании sp3. Первоначальная конструкция – Модель 500 – была впервые спроектирована и использована в 1993 г. Более чем за 15 лет был накоплен опыт эксплуатации многочисленных установок Модели 500. Весь этот опыт и знания были использованы компанией sp3 при создании реактора Модели 600.

 

В новой модели сохранилась основная геометрия реактора, включая 24-дюймовую камеру и горизонтальный блок горячих нитей, созданный на основе запатентованной технологии натяжителя нитей компании sp3. При этом Модель 600 отличается повышенным удобством в обслуживании и надежностью эксплуатации, а также простотой загрузки и разгрузки. Новый реактор имеет меньшую опорную поверхность, благодаря чему требует на 20% меньше пространства для установки. Вакуумный насос теперь является составной частью системы. Повысилась эффективность установки: при том же объеме загрузки потребление электроэнергии снизилось на 15%.

 

К более важным изменениям относится прежде всего то, что модуль центрального управления и контроля «Cell Supervisor» теперь также относится к стандартным компонентам установки, так как возможность сбора данных при помощи компьютера Macintosh и наличие системы управления набором команд и параметров являются необходимыми функциями систем, отвечающих требованиям стандарта ISO 9000, а также систем, стремящихся улучшить качество продукции за счет использования системного программируемого контроллера (модуля SPC). Модуль "Cell Supervisor", входящий в комплектацию Модели 600, может также использоваться для трех дополнительных реакторов, поставляемых без данного компонента.

 

Алмазное напыление

 

Применение технологии осаждения из газовой фазы обеспечивает возможность нанесения тонкой алмазной пленки на пластины из широкого спектра материалов. Использование передового метода термического газофазного осаждения алмазного покрытия с горячей нитью позволяет получать высококачественные поликристаллические алмазные пленки толщиной от 5 до 50 микрон. Уменьшение продолжительности рабочего цикла, увеличение площади напыления и сокращение потребления электроэнергии позволило снизить стоимость эксплуатации и гарантировать при этом безопасную и надежную работу установки.

 

Применение

 

Модель 600 прекрасно подходит для нанесения алмазных покрытий на вольфрамовые твердосплавные режущие пластины, концевые фрезы, сверла, поверхности трения и другие изделия на карбидной основе. Инструменты с алмазным покрытием применяются для механической обработки абразивных неметаллических материалов, например, графитов, необожженной керамики, армированных пластиков, углепластиков, а также абразивных цветных металлов, таких как алюминиево-кремнистый сплав.

 

В отличие от других методов производства алмазных инструментов, таких как PCD (нанесение поликристаллических алмазных пленок), технология осаждения из газовой фазы может быть использована для нанесения покрытия на инструменты практически любых форм и размеров, включая стружколоматели и детали другой геометрии.

 

Модель 600 была разработана для нанесения алмазного покрытия на твердосплавные режущие инструменты. Благодаря своим различным модификациям данная установка позволяет также обрабатывать полупроводниковые пластины, создавать пассивирующий слой на полупроводниковых элементах, наносить покрытие на плоские дисплеи, окна для рентгеновских аппаратов и производить листовые материалы с алмазным покрытием. Таким образом, реактор данной модели можно рассматривать как устройство, идеально подходящее для решения любых задач, требующих нанесения равномерной алмазной пленки на большие неоднородные поверхности.

 

Высокая производительность при низких затратах

 

Размер стандартной площади напыления для Модели 600 составляет 12 х 12 дюймов (144 кв. дюйма). Средняя скорость приращения слоя (1 микрон в час) и небольшое время между циклами работы, в сочетании с эффективным потреблением электроэнергии и расходом газа, а также способностью к долговременной работе без наблюдения оператора, обеспечивают высокую производительность установки при низких затратах на её эксплуатацию. К примеру, на реакторе данной модели вы сможете обработать более 70 000 режущих пластин типа SPG-322 в год. Экономичность работы реактора с потреблением электроэнергии в 30 кВт обеспечивает производство с его помощью самых дешевых алмазных покрытий на рынке.

 

Высококачественное покрытие для производства, исследований и разработок

 

Модель 600 объединяет в себе использование запатентованной технологии реакторов с нитями накала и передовые системы управления и контроля для создания алмазных покрытий превосходного качества. Многошаговые (вплоть до 59 отдельных шагов) операции и контроллер, работающий на основе набора определенных команд и параметров, гарантируют постоянное качество покрытий с оптимальными свойствами при производстве, а также высокий уровень гибкости при их проектировании.

 

Собственная (запатентованная) конструкция нитевого элемента создает равномерное распределение энергии с температурой горячей нити до 2 550° и уровнем мощности до 20 Вт/см2. Процесс нанесения покрытия контролируется системой регулирования теплового излучения как нитей, так и температуры материала основы совместно с замкнутой (автоматически регулируемой) системой управления давлением и газовым потоком. Температуры пластины измеряется при помощи расположенной под ней термопары. Температура нитей измеряется по двум фиксированным точкам двухцветным пирометром.

 

Устройство распределения газа обеспечивает управление его структурой потока внутри и вокруг нитевой конструкции и основания для оптимизации скорости формирования слоя, а также его однородности и качества. Пространства внутри камеры вполне достаточно, чтобы в процессе работы на ее стенках не образовывались нежелательные рекомбинации газов.

 

Изменения параметров рабочих шагов и их продолжительности позволяют изменять ядерную плотность, скорость образования слоя, размер частиц, а также прочие характеристики для создания покрытий с заметно отличающимися структурами (см. фотографии). Покрытия с мелким размером частиц применяются на поверхностях трения или для окончательной обработки изделий. Покрытия с крупными частицами или нанесение толстого слоя применяются для обработки инструментов для грубой резки или инструментов с увеличенным сроком эксплуатации. Для перехода от одного режима к другому не требуется никаких изменений программного обеспечения или аппаратной части установки, достаточно только выбрать другой набор команд и параметров.

 

Каждый рабочий процесс можно приспособить для создания оптимального покрытия для каждой конкретной детали, а затем воссоздавать его снова и снова. Универсальность и приспособляемость реактора Модели 600 компании sp3 делает возможным его применение как на производстве, так и в конструкторских и исследовательских целях.

 

Простая в обслуживании конструкция

 

Съемные панели и открывающиеся навесные дверцы обеспечивают простой доступ ко всем внутренним частям реактора для поиска неисправностей и ремонта.

 

Одинаковые равномерные пленки

 

Главным преимуществом системы нитей накала от компании sp3 является её способность обеспечивать создание покрытий абсолютно одинаковой толщины на достаточно большой площади. Точная настройка и управление параметрами процесса позволяет добиваться общего отклонения толщины пленки не более ±20% как в рамках одного цикла, так и от партии к партии на всей широкой рабочей площади размером 144 кв. дюйма.

 

В отличие от данной модели, в микроволновых или электродуговых реакторах поверхность напыления, как правило, представляет собой шайбу диаметром 6-8 дюймов. Разница в толщине напыляемой пленки на расстоянии 5 или 7 дюймов от центра изменяется в соотношении 3:1, создавая существенные отклонения толщины покрытия на обрабатываемой площади размером не более 50 дюймов.

 

Однородность покрытия в пределах одной пластины также очень важна. Горячие пятна, часто возникающие в микроволновых или электродуговых реакторах, могут вызывать отклонения толщины до ±30% в пределах рабочей поверхности («от угла к углу»). Точный контроль температуры в реакторе Модели 600 позволяет избежать появления таких пятен, обеспечивая распределение энергии как вокруг каждой детали, так и внутри всей загрузки в целом.

 

Высокая надежность

 

Простота устройства и конструкции делает реактор Модели 600 весьма надежным. Запатентованный метод термического газофазного осаждения с горячей нитью, устойчивая структура системы управления, тщательно подобранные компоненты и материалы, соответствующие стандартам полупроводниковой промышленности, – всё это послужило созданию единого комплекса, который продолжает работать и работать.

 

Более шести лет ежедневной эксплуатации многочисленных реакторов, построенных на основе конструкции Модели 500, показали, что среднее время наработки на отказ у данной модели превышает 500 часов, а выход годной продукции составляет 95%.

 

Безопасность использования

 

В отличие от микроволновых реакторов, Модель 600 не производит потенциально опасного уровня микроволновой энергии и не приводит к образованию побочных углеводородных продуктов, таких как бензол и другие возможные канцерогены. Действительно являясь более безопасной по сравнению с другими установками, Модель 600 обладает также комплексной системой программных и аппаратных блокировок, защищающих оператора во время работы.

 

Сбор данных и командное управление

 

Комплектация Модели 600 включает, в том числе, и рабочую станцию модуля управления «Cell Supervisor», поставляемую компанией «SEMY Engineering». Модуль «Cell Supervisor» позволяет инженерному и производственному персоналу собирать и анализировать данные о работе реактора.

 

Доступ к данным возможен в режиме реального времени. Данный модуль Модели 600 поддерживает возможность подключения до трех дополнительных 600-ых реакторов (поставляемых компанией sp3 без модуля «Cell Supervisor»). Система позволяет модифицировать наборы команд в соответствии с требованиями различных рабочих процессов и загружать их на любом из реакторов.

 

Гарантия

 

Компания sp3 предоставляет гарантию на реактор Модели 600 и его компоненты в течение одного года с момента поставки.

 

Техническая поддержка

 

При заказе реактора Модели 600 предоставляется полный комплекс услуг по организации технологического процесса, разработке процедур, обучению, установке и техническому обслуживанию.

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru