Настольная инфракрасная печь MILA-5000 – младшая модель в линейке инфракрасных печей Ulvac-RIKO.

Быстрая тепловая обработка – важная технология для отжига полупроводников, сегнетоэлектриков и тонкоплёночных структур. До недавнего времени только габаритные и дорогие системы были способны осуществлять быстрый нагрев и охлаждение, что делало научно-исследовательские работы на небольших партиях образцов весьма затруднительными.

Чтобы удовлетворить эту потребность, Ulvac-RIKO разработала настольную установку отжига MILA-5000. Это компактное устройство сконструировано на базе золотого ИК-отражателя и ИК-ламп и включает высокоточный регулятор температуры.

При оснащении вакуумным насосным оборудованием и при подключении к источникам газа, печь MILA-5000 способна обеспечить такие ​​же условия отжига, что и оборудование для крупносерийного производства.

Модель	MILA-5000-P-N	MILA-5000-UHV	MILA-5000-P-F
Тип	на базе нагревателя ближнего ИК диапазона, высокотемпературная модификация	на базе нагревателя ближнего ИК диапазона, высоковакуумная модификация	на базе нагревателя дальнего ИК диапазона, модификация, обеспечивающая высокую равномерность нагрева
Диапазон температур	до 1200° С	до 1200° С	до 800° С
Максимальная скорость нагрева	50° С/сек в вакууме 45° С/сек в атмосфере азота	50° С/сек в вакууме 45° С/сек в атмосфере азота	4° С/сек в вакууме 4° С/сек в атмосфере азота
Равномерность нагрева	±2° С при 1200° С в вакууме  ±4,5° С при 1200° С в атмосфере азота	±2° С при 1200° С в вакууме  ±4,5° С при 1200° С в атмосфере азота	±1,8° С при 800° С в вакууме  ±1,2° С при 800° С в атмосфере азота
Среда	Воздух, вакуум, инертный газ	Воздух, вакуум, инертный газ	Воздух, вакуум, инертный газ
Максимальный размер образца	Ш 20 мм х Д 20 мм х В 2 мм	Ш 20 мм х Д 20 мм х В 2 мм	Ш 20 мм х Д 20 мм х В 2 мм
Мощность ламп	1 кВт	1 кВт	250 Вт