РУС ENG
 
Interactive Corporation — японская торговая компания, основанная в 1993 году, поставляет высокотехнологичное научное и промышленное оборудование ведущих японских, европейских и американских производителей.
 
Interactive Corporation — авторизованный торговый агент компаний: JEOL Ltd., Oxford Instruments, Gatan, Ulvac-Riko, Nikon Instech, Yamazaki Mazak.
Авторизованный дилер JEOL Ltd в России и странах СНГ

Оже-микроанализ

Оже-микроанализ

 

"...Оже-электронные микроанализаторы с термополевой электронной пушкой обеспечивают получение информации о химсоставе образцов из малого информационного объёма, что определяет их высокие показатели по пространственному разрешению. Преимущество Оже-электронных микроанализаторов заключается в возможности исследования одномерных нанообъектов, а именно тонких (вплоть до одного монослоя) пленок, а также весьма высокая локальность анализа в латеральном направлении. Данные приборы в массивных образцах обеспечивают получение информации по элементному и химическому составу в областях глубиной до 1 нм и диаметром около 8 нм.

 

Метод Оже-электронной спектроскопии относится к числу методов анализа поверхности, поскольку глубина выхода Оже-электронов весьма мала (около 1 нм). Наряду с высокой поверхностной чувствительностью Оже-микроанализатор позволяет получать информацию о распределении элементов и их химическом состоянии как по поверхности (двумерное распределение или карта распределения элементного состава), так и в глубину путем ионного травления поверхности образца. Таким образом, путем послойного ионного травления поверхности образца может быть реализовано получение трехмерной информации о распределении элементного состава с разрешением 8 нм по поверхности и 1 нм в глубину.

 

По существу, современный Оже-электронный микроанализатор является сверхвысоковакуумным растровым электронным микроскопом (СВ-РЭМ), и к числу одного из его достоинств относится то, что на поверхности образца при долговременном облучении электронным зондом не происходит накопления углерода в результате диссоциации паров вакуумного масла под электронным пучком. Однако может наблюдаться эффект десорбции кислорода при длительной стационарной экспозиции электронным зондом участка поверхности образца за счет ионизации кислорода в пленках оксида и выхода ионов кислорода из поверхности пленки, поскольку ион кислорода имеет меньший диаметр, чем атом кислорода. Но тем не менее, Оже-микроанализатор является весьма ценным дополнением к ПЭМ в современной материаловедческой аналитической лаборатории.

 

Помимо стандартных методик Оже-микроанализа современные Оже-микроанализаторы позволяют проводить не только элементный, но и химический анализ и получать профили распределения по глубине как чистых элементов, так и элементов в различных химических соединениях (причем каждый профиль от чистого элемента и от этого же элемента в соединении получают раздельно) и дифференцировать пики элементов в зависимости от их химического состояния методом деконволюции пиков и последующего факторного анализа благодаря весьма высокому спектральному разрешению электронного спектрометра (так, например, в модели JAMP-9500F разрешение электронного спектрометра достигает 0,05%)..." 

 

 Взято из "Применение электронной микроскопии и микроанализа в исследованиях наноматериалов и наноприборов" С. А. Иванов, глава московского представительства компании «Interactive Corporation», официального дилера в СНГ фирмы JEOL LTD.

 

Оже-микроанализатор JAMP-9510

Оже-микроанализатор JAMP-9510

Оже-микроанализаторы фирмы JEOL имеют аббревиатуру JAMP (JEOL Auger Micro Probe). В настоящее время фирмой JEOL прекращен выпуск моделей с гексаборид-лантановым катодом в связи со все более ужесточающимися...

Московское представительство компании Interactive Corporation
115191 Россия, Москва, ул. Большая Тульская, д.10, стр. 2, офис 222
тел/факс: +7 (495) 748 20 07, +7 (495) 737 51 68, e-mail: iac@microanalysis.ru