Растровая электронная микроскопия

Физические принципы растровой электронной микроскопии

Растровый электронный микроскоп основан на использовании предварительно сформированного тонкого электронного луча (зонда), положением которого управляют с помощью электромагнитных полей. Это управление (сканирование) во многом аналогично процессу развертки в телевизионных кинескопах. Электронный зонд последовательно проходит по поверхности исследуемого образца.

Под воздействием электронов пучка происходит ряд процессов, характерных для данного материала и его структуры. К их числу относятся рассеяние первичных электронов, испускание (эмиссия) вторичных электронов, появление электронов, прошедших сквозь объект (в случае тонких объектов), возникновение характеристического излучения. В ряде специальных случаев (люминесцирующие материалы, полупроводники) возникает также световое излучение.

Регистрация электронов, выходящих из объекта, а также других видов излучения (характеристического, светового) дает информацию о различных свойствах микроучастков изучаемого объекта. Соответственно этому системы индикации и другие элементы растровых микроскопов различаются в зависимости от вида регистрируемого излучения.

Синхронно с разверткой электронного зонда осуществляется построение изображения на мониторе компьютера (яркость пикселя на мониторе пропорциональна величине регистрируемого сигнала). Например, в случае работы растрового электронного микроскопа в режиме индикации тока вторичных электронов, величина вторичного электронного тока определяет глубину модуляции яркости на мониторе компьютера. Растровый электронный микроскоп такого типа позволяет получить увеличение 5 – 1 000 000 крат при достаточной контрастности изображения.

Разрешающая способность растровых электронных микроскопов такого класса определяется диаметром электронного зонда и материалом образца и составляет 10 Ангстрем.

Микроскопы JEOL с вольфрамовым прямонакальным катодом 

С марта 2006 г. две наиболее популярных серии микроскопов JEOL – JSM-6390 и JSM-6490 заменены новейшими сериями моделей: JSM-6510 и JSM-6610. Недорогие многоцелевые сканирующие (растровые) микроскопы JSM-6510 и JSM-6610 – удобные, простые в управлении, исключительно надежные приборы с компьютерным контролем и превосходными техническими характеристиками.

Каждый из микроскопов серии выпускается в двух модификациях – стандартной (высокий вакуум) и низковакуумной (LV). Последняя сочетает в себе возможности работы как в стандартном, так и в LV режимах. Низковакуумный режим работы позволяет исследовать образцы без напыления токопроводящим слоем, в том числе биологические и полимерные материалы, стекла, нефтематеринские породы и т.д.

Каждый из приборов серии может оснащаться различными аналитическими приставками для определения химического состава (спектрометры с энергетической и волновой дисперсией), катодолюминесценции, кристаллической структуры и др. В современных моделях предусмотрена возможность установки турбомолекулярного насоса и/или электронной пушки с гексаборид-лантановым катодом по желанию заказчика.

Jeol

Компактный растровый электронный микроскоп JSM-6010 TouchScope

Компактный растровый электронный микроскоп с возможностью работы в различных средах от JEOL обеспечивает получение высококачественных изображений и микроанализ где бы вы в них не нуждались.

 

Возможности беспроводной связи делают...

подробнее

Растровые электронные микроскопы JSM-6610

Недорогие многоцелевые сканирующие (растровые) микроскопы JSM-6610– удобные, простые в управлении, исключительно надежные приборы с компьютерным контролем и превосходными техническими характеристиками. Каждый из микроскопов серии выпускается в...

подробнее

Растровые электронные микроскопы серии JSM-6510

С июля 2008 г. одна из наиболее популярных серии микроскопов JEOL – JSM-6390 заменена новейшей серией моделей: JSM-6510 Недорогие многоцелевые сканирующие (растровые) микроскопы JSM-6510– удобные, простые в управлении, исключительно надежные...

подробнее

Растровый аналитический электронный микроскоп JSM-7001F

Основной особенностью этого растрового электронного микроскопа является электронная пушка на базе катода Шоттки - особой конструкции пушка, "погружённая" в конденсорную линзу. Целью сочетания термополевого (Шоттки-) эмиттера и особой конструкции...

подробнее

Растровый электронный микроскоп JIB-Z4500 Multibeam с ионной пушкой для микротравления

Новая простая в эксплуатации система РЭМ/ФИП (Растровый электронный микроскоп/ионная пушка с Фокусированным Ионным Пучком) объединяет в себе ионную оптику и самую популярную в мире колонну РЭМ. Прибор JIB-Z4500 «Мультибим»...

подробнее

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JIB-4600F Multibeam с ионной пушкой для микротравления

подробнее

Растровый электронный микроскоп сверхвысокого разрешения JSM-7500F

Растровый электронный микроскоп высокого разрешения с возможностью анализа углеродных наноматериалов и диэлектрических композитов на их основе без напыления проводящих покрытий на поверхность образца за счёт работы микроскопа в низковольтном...

подробнее