Аналитическое оборудование для РЭМ

Энергодисперсионный микроанализ

Основополагающий принцип работы растрового (сканирующего) электронного микроскопа – облучение исследуемого образца сфокусированным электронным лучом со строчно-кадровой развёрткой. Энергия электронов пучка, рассеянная внутри образца, распределяется между различными вторичными процессами, некоторые из которых могут быть использованы как источники полезных сигналов в микроскопии и микроанализе: образование вторичных электронов, характеристическое вторичное излучение, отражённые электроны, катодолюминисценция.

Система энергодисперсионного микроанализа предназначена для спектрального анализа характеристического вторичного излучения в растровом электронном микроскопе. Кванты излучаются атомами вещества при релаксации после возбуждения первичными электронами луча. Энергия кванта равна разности энергии между оболочками, на которых происходят переходы. Т.к. энергии электронных уровней квантованы и строго определены для каждого элемента таблицы Менделеева, то по всякому вторичному спектру можно с достаточной степенью точности определить набор элементов, составляющих исследуемый образец и образовавших этот спектр. По интенсивности линии спектра можно определить концентрацию соответствующего элемента.

Принцип энергодисперсионного разложения вторичного излучения состоит в следующем: основным регистрирующим элементом является полупроводниковый охлаждаемый диод, находящейся под обратным смещением. Квант, проникая в область p-n перехода порождает электронно-дырочные пары, количество которых пропорционально энергии этого кванта. Возникает токовый импульс с величиной, пропорциональной количеству электронно-дырочных пар. Электроника усиливает, измеряет и запоминает этот токовый импульс. Это происходит несколько тысяч раз в секунду. Таким образом, накапливается статистика энергий квантов излучения, а эта статистика и есть спектр вторичного излучения. Далее полученные результаты обрабатываются различными программами, результатами работ которых являются всякого рода специализированные коррекции, идентификация элементов, оценка концентраций и остальные функции, доступные пользователю программ системы ЭД микроанализа.

Alicona

Программа реконструкции трёхмерного изображения поверхности MeX

Мекс (MeX) –Программа трехмерного анализа изображений неровной поверхности образцов для растрового электронного микроскопа. МеХ позволяет реконструировать и визуализировать трехмерную поверхность на основе растровых...

подробнее

Bruker AXS Microanalysis

Система для энергодисперсионного микроанализа QUANTAX

Общее описание

 

EDS система QUANTAX предназначена для энергодисперсионного микроанализа на сканирующих и просвечивающих электронных микроскопах (SEM и TEM). Система с SDD кремниевым дрейфовым детектором XFlash® без...

подробнее

Oxford Instruments

INCA Energy+ - программная платформа для интеграции управления ЭД и ВД спектрометрами

 

 

Энергодисперсионный микроанализ и волнодисперсионный микроанализ являются дополняющими друг друга методами: ЭД система обладает несравнимо более высоким быстродействием в части анализа всего спектрального диапазона, но...

подробнее

Система для энергодисперсионного микроанализа INCA Energy

 

 

"...Главный элемент энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) - это полупроводниковый детектор (ППД) рентгеновского излучения. Детектор преобразует энергию единичного рентгеновского фотона в скачок напряжения...

подробнее

Системы для волнодисперсионного микроанализа INCA Wave

 

 

"...Волнодисперсионный спектрометр состоит из двух главных компонентов – кристалла-анализатора и газового пропорционального рентгеновского счетчика. Спектрометр Inca Wave относится к полностью фокусирующему типу - где кристалл,...

подробнее