*Рекомендации по комплектованию материаловедческой лаборатории в части электронно-оптического оборудования

"...При выборе оборудования для оснащения современной материаловедческой лаборатории можно было бы рекомендовать следующую последовательность в приобретении электронно-зондового оборудования:

1) В качестве самого универсального прибора сначала желательно установить растровый электронный микроскоп с полевой электронной пушкой (ПЭ-РЭМ). Это может быть как ПЭ-РЭМ с пушкой с холодной полевой эмиссией, если перед исследователями стоят задачи исследования наноморфологии диэлектриков, керамики и аналитические задачи отодвигаются на второй план (кроме энергодисперсионного микроанализа), либо ПЭ-РЭМ с термополевой электронной пушкой, если наряду с исследованием наноморфологии для прибора имеется большое количество аналитических задач на анализ микропримесей, микротекстурный анализ (методом дифракции отраженных электронов), либо исследования спектральной катодолюминесценции (алмазов, прямозонных полупроводников типа А3В5, А2В6, GaN и пр.).

2) Для анализа состава и структуры наночастиц и нанобъектов (например, нанопорошков, фуллеренов и нанотрубок) необходим аналитический просвечивающий электронный микроскоп с ускоряющим напряжением не менее 200 кВ, оснащенный системами энергодисперсионного рентгеновского анализа и спектрометром потерь энергии электронов.

3) Для исследования тонких пленок и других наноразмерных объектов, имеющих наноразмеры в только одном направлении, желательно использовать Оже-микроанализатор с термополевой электронной пушкой (для анализа наночастиц, поверхности пленок и границ раздела тонкопленочных материалов и пр.)

4) Для прецизионного анализа состава шлифов металлов, керамик, полупроводников с высоким разрешением и высокой чувствительностью необходим электронно-зондовый рентгеновский микроанализатор с термополевой электронной пушкой. Данный прибор предназначен для тонкого анализа следовых концентраций элементов и получения распределения элементов на большой площади (более 10х10 мм).

Не обязательно иметь в составе лаборатории сразу четыре данных прибора, однако наличие первых двух (ПЭ-РЭМ и ПЭМ) абсолютно необходимо, поскольку без них невозможно исследовать наноматериалы, полученных при разработке новых технологий..."

Взято из "Применение электронной микроскопии и микроанализа в исследованиях наноматериалов и наноприборов" С. А. Иванов, глава московского представительства компании «Interactive Corporation», официального дилера в СНГ фирмы JEOL LTD.