Рис 1. Типы сигналов, генерируемых электронным зондом

 

1. вторичные электроны

 

2. обратно рассеянные (отраженные) электроны

 

3. поглощенные электроны

 

4. Оже-электроны

 

5. характеристическое рентгеновское излучение (первичное)

 

6. тормозное рентгеновское излучение

 

7. рентгеновское излучение вторичной флуоресценции

 

8. катодолюминесценция (видимый свет)

 

9. нагрев в зоне взаимодействия