Рис 2. Зависимость размера сечений области взаимодействия электронного зонда от плотности материала и ускоряющего напряжения
Моделирующий расчет методом Монте Карло при ускоряющих напряжениях 5 кэВ и 20кэВ на примере кремния (плотность 2.33г/см3) и молибдена (плотность 10.2г/см3).